ACQUITY QDa 検出器でのターボ分子ポンプの故障が繰り返し発生する - WKB26724
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症状
- ACQUITY QDa でのターボ分子ポンプの故障が繰り返し発生する(ポンプの交換が必要)。
環境
- ACQUITY QDa
- ターボ分子ポンプ
- 検出器コントロールカード (DCC)
原因
接続部 6 (J6) での「ターボポンプコントローラー」の検出器コントロールカード (DCC) (700011090)(ターボ分子ポンプに 24 V 電源を供給している)の故障です。これにより電力供給が過剰になり、ターボポンプコントローラーの早期故障が発生しました。
解決策
DCC ボード (700011090) を交換します。
追加情報
id26724, power supply, QDA, turbo controller, turbo pump, ターボコントローラー, パワーサプライ