Vion IMS QTof ソースターボが回転せず、エラーメッセージ「Vacuum: Error - Pump fail. Select Vent to clear」（真空：エラー - ポンプフェイル。ベントを選択してクリアしてください）が表示される - WKB100415
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症状
- システムを真空引きしようとすると、ソースターボポンプが 0 W のままで、速度が 1 ～ 2% 増加しない
環境
- Vion IMS QTof
- UNIFI 1.9.x
- UNIFI ネットワーク 1.9.x
原因
ソースターボポンプの不良による問題です
解決策
ソースターボポンプ (700010967 PUMP - PFEIFFER SPLIT FLOW 310) を交換します。
追加情報
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