Ebara ポンプが真空引き中に維持しない - WKB109018

症状

• 装置を真空解除した後、Ebara は真空引きを開始するが、10 ～ 20 秒後にシャットダウンする
• Ebara ポンプでのエラーコード OL2 または OL3 または類似
• ポンプの電源を切るとエラーはリセットされるが、真空引きすると再び停止する

環境

• SYNAPT G2-Si
• SYNAPT G2-XS
• Xevo TQ-XS

原因

ポンプは、抽出に接続されている排気ラインでの高い背圧を検出しています。

解決策

1. Ebara ポンプの電源を切ってエラーをリセットします。
2. 抽出アウトレットから排気ラインを取り外します。
3. ［MS Tune］画面から真空引きシーケンスを開始します。
4. 30 秒後、排気ラインを壁アウトレットに戻すことができ、ポンプは動作を継続します。

追加情報

ライン内の最初の背圧の原因（例えば、インラインフローコントローラーやファンが動いている）を特定するために、調査を実施する必要があります。