TQD が真空に到達せず、ターボスピードが 20% にしか到達しない - WKB112518

症状

• システムの真空引きがタイムアウトする
• ターボポンプの速度が 20% しか到達しない
• ソースエンクロージャーが開いていると、ソースシールからリーク音が聞こえる

環境

• TQ 検出器
• SQ 検出器

原因

ソース O リングがリークしています

解決策

1. ソースを分解し、PEEK イオンブロックサポートの O リングを（必要に応じて）再度取り付けるか交換します。
2. ソースを再組み立て、真空システムを起動します。
3. ターボスピードが 100% に達していることを確認します。

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