高 RSD - Xevo TQ-XS の APGC でピンが繰り返しに不安定 - WKB117656
Article number: 117656To English version
症状
- コロナ電流が設定値を上回ったり下回ったりする
- ビームの低下と欠落により内部標準の RSD が高い。
- ピンをクリーニングし交換した
- セラミックはきれいである
環境
- APGC
- Xevo TQ-XS
原因
コロナピンが APGC イオンチャンバーの表面に接地しています。時間が経つにつれて、この表面は非常に汚れ、コロナの安定性に影響します。
解決策
APGC チャンバー (700005457) をクリーニングするか、交換します。