メインコンテンツまでスキップ
Waters Japan

イオンガイド領域での高真空エラー - WKB1543

Article number: 1543To English version

症状

  • システムステータスエラー:イオンガイド領域での高真空エラー
  • ソースメンテナンス後にエラーが発生した
  • イオンガイド Pirani のリードバック = 3.5 e-3 (通常 = 5 e-5)
  • アイソレーションバルブを閉じると、圧力が 9e-5 未満に低下する
  • アイソレーションバルブが開くと、圧力は 4 e-3 まで上昇する

環境

  • Xevo TQ-S

原因

サンプルコーン O リングが損傷している

解決策

  1. サンプルコーン O リング (700004321) を交換します

追加情報