イオンガイド領域での高真空エラー - WKB1543
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症状
- システムステータスエラー:イオンガイド領域での高真空エラー
- ソースメンテナンス後にエラーが発生した
- イオンガイド Pirani のリードバック = 3.5 e-3 (通常 = 5 e-5)
- アイソレーションバルブを閉じると、圧力が 9e-5 未満に低下する
- アイソレーションバルブが開くと、圧力は 4 e-3 まで上昇する
環境
- Xevo TQ-S
原因
サンプルコーン O リングが損傷している
解決策
- サンプルコーン O リング (700004321) を交換します
追加情報
id1543, ion guide, sample cone, vacuum, バキュームマ, ピラニ