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アルゴンの供給が不十分なため、すべてのモードで感度が低下する - WKB16197

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症状

  • システムはすべてのモードで感度の仕様に不合格
  • 感度が突然低下することがある(最大 100 倍)
  • コリジョンガスがオンになっているのに、コリジョンセルの真空読み取り値が約 1e-4 mBar

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環境

  • SYNAPT G2
  • SYNAPT XS

原因

アルゴンの供給が不十分です。
アルゴンレギュレーターの読み取り値が正しくありません。アルゴン供給ボトルが空であるか、アルゴン供給ラインが閉じています。

解決策

  1. アルゴン供給ラインを点検して、バルブが閉じていないか確認します。
  2. アルゴン供給ボトルが空でないことを確認します。
  3. レギュレーターでのアルゴン圧力を(例えば 1 bar に)上げて、シグナルが回復するかどうかを確認します。
  4. 内部アルゴン流量を増やし、シグナルが通常の高さに戻るかどうかを確認します。

追加情報

 

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