アルゴンの供給が不十分なため、すべてのモードで感度が低下する - WKB16197
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症状
- システムはすべてのモードで感度の仕様に不合格
- 感度が突然低下することがある(最大 100 倍)
- コリジョンガスがオンになっているのに、コリジョンセルの真空読み取り値が約 1e-4 mBar
環境
- SYNAPT G2
- SYNAPT XS
原因
アルゴンの供給が不十分です。
アルゴンレギュレーターの読み取り値が正しくありません。アルゴン供給ボトルが空であるか、アルゴン供給ラインが閉じています。
解決策
- アルゴン供給ラインを点検して、バルブが閉じていないか確認します。
- アルゴン供給ボトルが空でないことを確認します。
- レギュレーターでのアルゴン圧力を(例えば 1 bar に)上げて、シグナルが回復するかどうかを確認します。
- 内部アルゴン流量を増やし、シグナルが通常の高さに戻るかどうかを確認します。
追加情報
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