SYNAPT G2-Si でサポートされている追加のイオン移動度分離 (IMS) ガスは何ですか？ - WKB16622

環境

• SYNAPT G2-Si
• SYNAPT G2-S

回答

どの場合でも、ガス純度は 99.5% 以上である必要があります。

追加情報

• 一部のガスには、専門的な規制当局や特別な取り扱い、安全性に関する注意事項が必要な場合があります。

• 標準的な装置性能の仕様には窒素が必要であり、このガスにも装置への取り付け、パフォーマンステストおよびメンテナンス作業が必要です。

• 一酸化窒素 (NO) などの一部のガスは、窒素ガスに戻すと、装置内に残留することがあります。このようなガスは、真空システムで「粘着性」があることがあり、金属表面から離れるまでに長い時間がかかることがあります。

• IMS セルの圧力ゲージは窒素についてキャリブレーションされています。ゲージヘッドでの正確なガス組成が不明であるため、このゲージを実際の圧力と見なしてはなりません。

• IMS 質量フローコントローラー (MFC) は窒素についてキャリブレーションされています。他のガスに切り替えると、異なる量のガスが流れます（希ガスの場合はより多く、CO2 と SF6 の場合はより少ない）。IMS MFC が 90 mL/分-1 のままの場合、ターボポンプは影響を受けません。または、適切な質量フロー補正ファクターを使用して、実際に 90 mL/分-1 を送気するように調整できます（下表を参照）。