SQ 検出器 2 でのエラー「Operate Trip (Low Vacuum Level)」（オペレートトリップ（低真空レベル）） - WKB195027
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症状
- SQ 検出器 2 のエラー「Operate Trip (Low Vacuum Level)」（オペレートトリップ（低真空レベル））
環境
- SQ 検出器 2
- MassLynx
原因
サンプルコーンの O リングのリーク
解決策
サンプルコーンの O リング (700004321) をクリーニングするか、交換します。
追加情報
id195027, A-SQ, sample cone, SQD2, バキュームマ