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ACQUITY QDa ターボのタイムアウト - WKB3794

Article number: 3794To English version

症状

  • 取り込み中に ACQUITY QDa が真空解除されました。
  • ACQUITY QDa をもう一度真空引きすることに失敗し、ターボスピードが 40% に達するだけです。
  • システムの設置から 2 週間後に障害が発生しました。
  • ターボポンプ出力が非常に高い (> 70 W)
  • ターボ速度が 100% に到達しない
  • 真空引きができない

環境

  • ACQUITY QDa

原因

ダイアフラムポンプが最適効率で作動していない。

解決策または回避策

  1. ダイアフラムポンプ(パーツ番号 700009640)の交換
  2. 装置を真空引きします
  3. ターボポンプの出力が現在正常範囲内(約 45 W)であることを確認します

追加情報