Leybold SV40 粗引きポンプにオイルを追加する方法 - WKB46276

目的または目標

Leybold SV40 粗引きポンプにオイルを追加する。

環境

• Leybold SV40
• SQ 検出器
• TQ 検出器
• 3100 質量検出器
• Xevo TQ-S
• Xevo TQD
• Xevo TQ-S micro

手順

1. TQ Detector Operator's Guide（『TQ 検出器オペレーターズガイド』）(71500126802) のセクション 5.13 の手順に従ってください。

追加情報