真空引き中に TOF ターボスピードが上がらない - WKB52330

症状

• 装置がベントされる

• 真空引きしようとすると、TOF ターボスピードが 2% に留まる

• 「Pump fail vent to clear」（ポンプ真空解除がベントしてクリアに失敗しました）メッセージ

環境

• Xevo G2-XS QTof

• Xevo G3 QTof

原因

ターボコントローラーにエラーが発生しました

解決策

1. electronics をオフにします（pump override スイッチを AUTO（自動）のままにします）。
2. 壁の電源ソケットから主電源コードを取り外します。
3. MS を電源が切った状態で 15 分間放置します。
4. 主電源をソケットに差し込みます。
5. 2 分間待ちます。
6. electronics スイッチをオンにします。
7. EPC 起動シーケンスが完了するまで待ちます。
8. 装置をポンプダウンします。
9. すべてのターボスピードが 80% を超えることを確認します。

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