UNIFI で RDa の「Blocked Aperture」（アパーチャーの詰まり）エラー - WKB53240

症状

• UNIFI のエラー：「Blocked Aperture」（アパーチャーの詰まり）
• 背圧のリードバックが 1.0 mbar で予想より低い

環境

• RDa 検出器

原因

アパーチャーの詰まり

解決策

1. アパーチャーを超音波洗浄します。
2. アパーチャーを再度取り付け、背圧が適切であること（通常 1.4 mbar）を確認します。
3. 超音波洗浄で正常な真空を回復（問題を解決）できない場合は、アパーチャーディスク (P/N 700012106) を交換します
   Overview and Maintenance Guide（『概要およびメンテナンスガイド』）のセクション 3.8 を参照してください

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