AutoSpec の真空エラー：「Off After Low Emission」（低エミッション後にオフ） - WKB55829

症状

• ［MS Tune］画面および［Vacuum Control］（真空コントロール）ページに、イオンゲージの「Off After Low Emission」（低エミッション後にオフ）エラーメッセージが表示される
• イオンゲージをオンにすることはできず、真空度は読み取ることができません。

環境

• AutoSpec
• AutoSpec Premier

原因

イオンゲージのフィラメントが開回路および/または接地またはグリッドと短絡しています。

解決策

1. リード線「Black」と「Red」、測定チップを一緒に触れて、測定を行う前にメーターリード線の抵抗を確認します。
   • 非常に低い抵抗を示す必要があります - 最適には 1 オーム未満です。
2. ピン 7 とピン 8 の間の抵抗を、イオンゲージの端部フランジで測定します。
   • 
3. 1 オーム未満の抵抗が見えることが予想され、上記のようにメーターリード線の抵抗を考慮します。フィラメントが良好であることが示されます。
4. 抵抗が非常に高い/無限の場合 - 「開回路」 - フィラメントが故障しており、交換する必要があります。
   • イオンゲージフィラメントの製品番号：7991802 - IR23 FILAMENT (VIG 8)
   • 完全なイオンゲージアセンブリーの製品番号：700012500 - GAUGE ION VIG 8 KF40
5. しかし、抵抗が約 1 オームまで良好な場合は、フィラメントが不適切に接続されている（接地またはイオンゲージグリッドと短絡している）疑いがあります。
6. ピン 7 または 8 のどちらかから、装置ハウジングの接地までの抵抗を測定します。
7. オープン回路耐性が高いことが予想されます。これが通常の状態です。
   • 低抵抗は短絡を示し、是正する必要があります。
8. ピン 7 またはピン 8 から、残りのピン 1 ～ 6 および中央ピンへの抵抗を測定します。
9. オープン回路耐性が高いことが予想されます。これが通常の状態です。
   • 低抵抗は短絡を示し、是正する必要があります。
10. 抵抗チェックが行われると、抵抗が測定されない可能性があります。
    • フィラメントは、装置ハウジング/グリッドの近くにあり、電圧と電流が供給されている場合にのみ実際に接続することができます。
11. アナライザー領域にエラーが表示されるままの場合は、両方のイオンゲージのエラーをテストします。
    • アナライザー 2 イオンゲージコネクター (BB350) の接続を外し、アナライザー 1 イオンゲージをオンにします。
      • 読み取り値が見られる場合、問題はアナライザー 2 イオンゲージにあります。
    • 同様に、アナライザー 1 イオンゲージのコネクター (BB150) を外し、アナライザー 2 イオンゲージをオンにします
      • 読み取り値が見られる場合、問題はアナライザー 1 イオンゲージにあります。 
12. イオンゲージは、すべての真空取り扱い手順に従って取り外す必要があり、小型のマイナスドライバーまたはピンセットでフィラメントを慎重に調整して、短絡を解消する必要があります。
    • 注：イオンゲージのフィラメントは、しない素手で触れないでください。フィラメントはトリウムコーティングされており、軽い放射性です。

追加情報

イオンゲージの仕組みについては、記事 WKB96022を参照してください。