AutoSpec の真空エラー：「Off After Low Emission」（低エミッション後にオフ） - WKB55829

症状

• イオンゲージ「Off After Low Emission」（低エミッション後にオフ）が[Tune Status and Vacuum Control]（チューンステータスおよび真空コントロールページ）に報告されています。
• イオンゲージをオンにすることはできず、真空度は読み取ることができません。

環境

• AutoSpec Ultima (M)
• AutoSpec Premier (P)

原因

イオンゲージフィラメントが開回路であるか、または接地かグリッドと短絡しています。

解決策

1. リード線「Black」と「Red」、測定チップを一緒に触れて、測定を行う前にメーターリード線の抵抗を確認します。
   • 非常に低い抵抗を示す必要があります - 最適には 1 オーム未満です。
2. ピン 7 とピン 8 の間の抵抗を、イオンゲージの端部フランジで測定します。
   • 
3. 1 オーム未満の抵抗が見えることが予想され、上記のようにメーターリード線の抵抗を考慮します。フィラメントが良好であることが示されます。
4. 抵抗が非常に高い/無限大または開回路の場合、フィラメントは故障しており、交換する必要があります。
   • イオンゲージフィラメントの製品番号：7991802 - IR23 FILAMENT (VIG 8)
   • 完全なイオンゲージアセンブリーの製品番号：700012500 - GAUGE ION VIG 8 KF40
5. 抵抗が 1 オーム未満の良好な場合は、内部フィラメントとグランドの短絡が疑われます。
   • イオンゲージケーブルの接続を外した後、イオンゲージピークの表示不良が消えていないかを確認します。これが発生する場合、フィラメントがグリッドと短絡していることが原因と考えられます。
6. ピン 7 または 8 のどちらかから、装置ハウジングの接地までの抵抗を測定します。
7. オープン回路耐性が高いことが予想されます。これが通常の状態です。
   • 低抵抗は短絡を示し、是正する必要があります。
8. すべての真空処理手順に続いて、イオンゲージを取り外す必要があります。短絡を解消するには、フィラメントを慎重に調整します。
   • 注：イオンゲージフィラメントに手を触れないでください。フィラメントはトリアストでコーティングされており、軽度の放射性があります。
   • 測定を接地にするとき、抵抗が見られないことがあります。フィラメントは、電圧および電流が供給されるときのみ、装置ハウジングに近づいて実際の接続を行うことがあります。
   • アナライザー領域にエラーが表示される場合は、両方のイオンゲージが接地と短絡しているかをテストします。
   • また、Analyzer 2 Ion Gauge connector （BB350） の接続を外し、Analyzer 1 Ion Gauge をオンにしてみます。測定値が表示される場合は、問題は Analyzer 2 Ion Gauge にあります。
   • 同様に、Analyzer 1 Ion Gauge connector (BB150) の接続を外して、Analyzer 2 Ion Gauge をオンにしてみます。測定値が表示される場合は、問題は Analyzer 1 Ion Gauge にあります。

追加情報

イオンゲージの仕組みについては、記事 WKB96022を参照してください。