Alcatel Adixen ACP 40 真空ポンプを搭載した ACQUITY TQD がランダムに真空解除する - WKB63928

症状

• Adixen ACP 40 オイルレス真空ポンプを搭載した TQD がランダムに真空解除する
• エラー：Low Turbo Speed（低ターボスピード）
• エラー：Operate Trip (Low Vacuum Level)（オペレートトリップ（低真空レベル））

環境

• TQ 検出器
• ACQUITY TQD
• SQ 検出器
• Pfeiffer Adixen ACP 40（旧称 Alcatel Adixen）

原因

ポンプ上のプラスチック製ノイズシールド (Adixen NRC 28.40) により、ポンプが過熱して、温度安全スイッチがオンになります。

解決策

Adixen ポンプを覆っているノイズシールドを取り外します。

問題が解決しない場合は、ポンプを交換します。

注：Pfeiffer/Alcatel ACP40 ルーツポンプ 725000534 は製造中止になっています。

代替手段は以下の通りです。

186006347         周波数変換器を搭載した Leybold SV40BI

ポンプが動作するためには少なくともリレーケーブルが必要です。

700004420         Leybold ポンプリレーケーブル

追加情報