Alcatel Adixen ACP 40 真空ポンプを搭載した ACQUITY TQD がランダムに真空解除する - WKB63928

症状

• Adixen ACP 40 オイルレス真空ポンプを搭載した TQD がランダムに真空解除する
• エラー：Low Turbo Speed（低ターボスピード）
• エラー：Operate Trip (Low Vacuum Level)（オペレートトリップ（低真空レベル））

環境

• TQ 検出器
• ACQUITY TQD
• SQ 検出器
• Pfeiffer Adixen ACP 40（旧称 Alcatel Adixen）

原因

ポンプ上のプラスチック製ノイズシールドにより、ポンプが過熱して、温度安全スイッチがオンになります。

解決策

Adixen ポンプを覆っているノイズシールドを取り外します。

問題が解決されない場合は、ポンプ（製品番号 725000534）を交換します。

追加情報

SQD の Alcatel ドライポンプの製品番号は？ - WKB20675