ACQUITY QDa 質量検出器での「Turbo power low」（ターボ出力が低すぎる）というエラーメッセージ - WKB7110

症状

• ターボ出力リードバックは 35〜37 W
• 重大なリードバックエラー
• 「Turbo power low」（ターボ出力が低すぎる）エラーメッセージ
• アパーチャーキャリアーとディスクを交換してもターボ出力リードバックがない

環境

• ACQUITY QDa 質量検出器

原因

真空度は本質的に良くなりすぎており、真空度を維持するためのターボの必要出力は少なくなっています。出力のリードバック値が 37 以下の場合、エラーメッセージが表示されます。

解決策

1. ヘルスモニターの「低ターボ出力」のチェックを無効にします。
2. ヘルスモニターの「重要なリードバックのチェック」、および「重要なリードバックの確認に失敗しました」のチェックを無効にします。
3. QDa の電源を切り、5 分間電源を切ったままにします。
4. 電源を入れます。
5. 装置が感度仕様に適合していることを確認します。

追加情報

このエラーメッセージは、ML および Empower で制御するシステムの両方に表示されます。このエラーメッセージは、diff アパーチャー領域の詰まりの信号を送ることを意図しています。ターボのリードバック値が 30～34 を下回る場合、詰まりが発生する可能性があります。シールの設計が改善されているため、ターボ出力が 40～44 か、35～39 である装置が増えてきました。

装置の感度が仕様を超過している場合、この回避策で動作するのに問題はありません。

更新された真空仕様限界は、将来的には TBD に含まれます