ACQUITY TQD がランダムに真空解除される - WKB83192

症状

• ACQUITY TQD はエラーなしで真空解除される
• ロータリーポンプが真空引きを停止した
• クラッシュイベントの直後にポンプを再起動できない

環境

• ACQUITY TQD

原因

ロータリーポンプが過熱しているため、スイッチがオフに切り替えられています。

解決策

1. ロータリーポンプが冷えるまで待ちます。
2. ［MS Tune］画面から真空引きシーケンスを再開します。

追加情報

この記事の例で問題のあるロータリーポンプは、Leybold SV40 BFIC モデル V3010 です。最大動作温度は 40° です。

ポンプがノイズボックス内にある場合は、すべてのファンが回転しており、ノイズボックスが過熱することなく温度を調整できることを確認します。