Ebara ポンプは停電後に真空引きしない。エラー「Uu1」 - WKB95190

症状

• 計画外の停電中に装置が真空解除された
• Ebara の前面パネルに、電圧低下ステータスを示すエラーコード「Uu1」が表示される
• 装置および PC を再起動した
• 装置の完全な通信が確立されている

環境

• SELECT Series Cyclic IMS QTof
• Xevo TQ-XS
• Ebara EV-SA30 真空ポンプ

原因

Ebara ポンプでエラーコードがラッチされました

解決策

1. Ebara ポンプの主電源を 10 分間取り外します。
2. 主電源を再接続します。
3. 装置を真空引きします。
4. 装置が適切に真空引きされていることを確認します。

追加情報