停電後に Ebara バックポンプが起動できない - WKB97862

症状

• 停電後、装置を真空引きできない

• Pump（ポンプ）を押した後、ターボ分子ポンプが速度を上げ始めるが、Ebara ポンプが停止しているように見える

• Ebara ディスプレーにエラーコード (Err) が表示されることがある

環境

• Ebara

• Vion

• Xevo TQ-XS

• Xevo TQ-S

原因

Ebara ポンプが停電によりエラー状態になっている

解決策

1. Ebara ポンプをオフにします。
2. 5 分間待ちます。
3. Ebara ポンプをオンにします。Ebara ポンプのディスプレーを確認します。「n5500」が表示されます。

4. 通常どおり装置を真空引きします。

追加情報

Ebara ポンプの再起動中に、MS 装置の Electronics を再起動する必要はありません。