窒素供給タンクの再充填後にシグナルがない - WKB27888

症状

• Low gas flow（ガス流量低下）エラーメッセージ
• 窒素供給タンクが低い
• 窒素供給タンクを再充填した
• タンクの再充填後、イオンビームがない
• 発見：装置内の窒素ガス流量は正常
• 発見：ソース遮断バルブが開いている
• 発見：ソース電圧のリードバックがすべて正しい

環境

• SQ 検出器 (SQD)

原因

通信エラー

解決策

1. MassLynx と ACQUITY コンソールを閉じます。
2. StopAcquityProcesses.cmd を実行します。
3. MassLynx PC を再起動します。
4. Windows にログインしますが、MassLynx を起動しないでください。
5. SQD のリセットボタンを押して、Operate（オペレート）ランプが赤色から消灯になるまで待ってください。
6. MassLynx を起動します。

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