2695 SM での面積および高さの再現性 (RSD) 低下 - WKB95109

症状

• 面積 RSD が 20%
• 高さ RSD が 10% を超える

環境

• 2695 セパレーションモジュール

原因

シールの位置合わせがずれています。

解決策

1. ［Direct Function］（ダイレクト機能） > ［Purge injector］（インジェクターをパージ）
2. ［Menu］（メニュー） > ［Diag］（診断） > ［Adjust Seals］（シール調整）
3. コンプレッションチェックを実行して確認します。

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