スクロールポンプで大きな音がする-WKB17393
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症状
- スクロールポンプからの大きな騒音
- 真空システムは良好
環境
- Edwards XDS 35i
- Edwards XDS 46i
- Edwards XDS 100B
原因
チップダストが緩い
解決策
- ノブを 0 から II に回してスクロールポンプをバラストします。
- 20 ~ 30分間待ちます。
- ノブを 0 の位置に戻します。
追加情報
ポンプのバラスト手順については、記事 7466 - How do you ballast the Edwards scroll pumps?(Edwards のスクロールポンプのバラスト方法)を参照してください
週に 1 回、月曜日の午前中にバラストします。
APCI モード または 高流速(約 1 mL /分)で測定する場合は、ダイヤルを I の位置にします。
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