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MS 粗引きポンプが起動しない - WKB29777

Article number: 29777To English version

症状

  • ポンプコマンドが[MS Tune]画面から送信されたときに、粗引きポンプが始動しない

環境

  • MS システム

原因

電源ソケットに電力が供給されていないか、ヒューズが切れている。

解決策

  1. 資格のある電気技師にソケットの電圧を確認させ、ソケットのヒューズを確認します(必要に応じて交換します)。
  2. 電源の問題が解決されたら、[MS Tune]画面の真空メニューを通じて装置の真空システムを再起動します。

追加情報