MS 粗引きポンプが起動しない - WKB29777

症状

• ポンプコマンドが［MS Tune］画面から送信されたときに、粗引きポンプが始動しない

環境

• MS システム

原因

アウトレットから粗引きポンプへの電源ケーブルが接続されていないか緩んでいるか、あるいは電源ソケットに電源がないか、ブレーカーがトリップしている/ヒューズが切れています。

解決策

1. 電源ケーブルの両端が適切に接続されていることを確認します
2. 資格のある電気技師にソケットの電圧を確認させ、ソケットのヒューズまたはブレーカーを確認します（必要に応じて交換します）。
3. 電源の問題が解決されたら、［MS Tune］画面の真空メニューを通じて装置の真空システムを再起動します。

追加情報

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