外部ソースヒーターが AutoSpec 1 で機能しない - WKB80051
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症状
- ソース温度のリードバックが設定値に達しない
- ヒーターがオンの場合、外部ソースに「光」は見られない。リードバックは設定値より高い
環境
- AutoSpec Premier(P)
- AutoSpec Ultima (M)
- MassLynx
原因
一方または両方のソースヒーターに障害があります。
解決策
- ソースおよびアナライザーのイオンゲージがオンになっており、ソース真空度が正しく読み取られていることを確認します。
- ソース温度を高い値（280℃ など）に設定します。
- 外部ソースアセンブリーブロックの両側から光が見えていることを確認します。
- Telnet 画面を開き、3481200DC1-S Source Control PCB のリードバックを点検します。
- Windows の［スタート］ > ［ファイル名を指定して実行］メニューから［Telnet］画面を開きます。
- ［ファイル名を指定して実行］ダイアログボックスに「Telnet EPC」と入力して、Telnet 画面を起動して開きます。
- Telnet プロンプトに「rmm」と入力します（すべて小文字、「r」「m」「m」は rioMainMenu の略語である）。
- 「3」を指定してサブシステムにアクセスし、「4」を指定して 3481200DC1-S Source Control PCB にアクセスし、次に「3」を指定してソースコントロール PCB リードバックのスナップショットを表示します。
- ソースをリードバックより高い温度に設定し、Telnet 画面に「3」を入力して、ヒーターをオンにする必要がある場合にリードバックを一覧表示します。
- 動作中のソースヒーターにより、以下が表示されます。
- 1503. SourceHeaterVoltageRb 7.254902（実際の値は、設定値とリードバックの温度差によって異なる場合があります）
- 開回路ソースヒーターには、以下が表示されます。
- 1503. SourceHeaterVoltageRb 24.xxx
- 動作中のソースヒーターにより、以下が表示されます。
- ソースを 0 に設定し、Telnet 画面に「3」を入力して、ヒーターがオフのときのリードバックを一覧表示します。
- 動作中のソースヒーターにより、以下が表示されます。
- 1503. SourceHeaterVoltageRb 0.xxx
- 動作中のソースヒーターにより、以下が表示されます。
- 上記のリードバックは 3481200DC1-S Source Control PCB が電気的に機能していることを示しており、開回路ソースヒーターに問題があることが示唆されます。
- -> プロンプトが表示されるまで、Telnet ボックスに「999」を繰り返し入力します。
- Telnet 画面を閉じます。
- 標準的なシステム操作手順に従ってソース領域を真空解除し、外部ソースアセンブリーを取り外します。
- 抵抗測定に設定されたデジタル電圧計（スケールを手動で設定する場合は 0～10 オーム）を使用して、メーターリード線の短絡抵抗をテストします。
- テストリードを一緒に触れて、抵抗をメモします。0～0.5 オームが必要です。
- 測定値が高い場合は、新しいテストリード線または別のデジタル電圧計で試してください。
- 外部ソースのテクニカルリファレンスを参照して、外部ソースヒーター回路の抵抗を測定します。
- 左側のコンタクトレール上のピン 7 とピン 8 の間の抵抗を測定します。
- 0.5～1.5オームの抵抗が必要です。
- 高抵抗または開回路の抵抗が測定された場合、ヒーターの一方または両方が故障しており、交換が必要です。
- 両方のヒーターを同時に交換することをお勧めします。M702867AD1 - ソースヒーターを 2 つ注文します。
- 絶縁/端子接続端のヒーター接続部に短絡がないことを確認します。
- 上記のように抵抗測定を繰り返してビルドを完了し、イオンブロックと Focus 1 レンズプレートの間の抵抗を測定します。
- 開回路、無限大の抵抗が予想されます。
- 低/短絡抵抗が測定される場合は、イオンブロックと Focus 1 レンズの間のフィラメントシールドに短絡があるかを確認します。