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SQ 検出器 2 からのソース(窒素)排気と真空ポンプ排気は、同じ建物の排気ラインに排気できますか? - WKB82467

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環境

  • SQ 検出器 2

回答

はい、ソース(窒素)排気ラインと真空ポンプ排気ラインは、同じベントラインに排気できます。

2 本の排気ラインのアウトレットは、0.5 m 以上離れる必要があります。両方の排気ラインが壁や天井からの同じ主要ラインに入る場合、真空ポンプの排気ラインの端は、ソース(窒素)排気ラインの端から少なくとも 0.5 m 先に配置する必要があります。

 

追加情報

 

id82467, A-SQ, N2ガス, nitrogen, SQD2, vacuum, バキュームマ