SQ 検出器 2 からのソース(窒素)排気と真空ポンプ排気は、同じ建物の排気ラインに排気できますか? - WKB82467
Article number: 82467To English version
環境
- SQ 検出器 2
回答
はい、ソース(窒素)排気ラインと真空ポンプ排気ラインは、同じベントラインに排気できます。
2 本の排気ラインのアウトレットは、0.5 m 以上離れる必要があります。両方の排気ラインが壁や天井からの同じ主要ラインに入る場合、真空ポンプの排気ラインの端は、ソース(窒素)排気ラインの端から少なくとも 0.5 m 先に配置する必要があります。
追加情報
id82467, A-SQ, N2ガス, nitrogen, SQD2, vacuum, バキュームマ