イオンビームがなく、GCT の電子エネルギーがゼロ - WKB9749

症状

• ビームがない
• イオンエネルギーのリードバック = 0
• トラップ電流のリードバック = 0
• 放出電流のリードバックが最大値を超えている（通常 = 5000 µA）

環境

• GCT Classic
• GCT Premier

原因

内部ソース EI フィラメントのシールドは、内部ソースイオンブロックまたは外部イオンチャンバーと短絡しています。

解決策

1. 真空解除し、内部ソースを取り外します。
2. 接地と短絡している場所を調べて、修正します。

• フィラメントシールドが歪んでいるかどうかを確認します。歪んでいる場合はフィラメントを交換します。
• イオン出口スリットがフィラメントシールドに向かって後ろに曲がっているかどうかを確認します。必要に応じて、出口スリットを真っ直ぐにします。
• マグネットキャップが外部ソースで滑り落ちているかどうかを確認します。必要に応じて、キャップを元の位置に押し込みます。

3. 内部ソースを交換し、真空引きし、イオンビームがないか確認します。

追加情報

Operate（オペレート）でフィラメントによって加熱されると、フィラメントシールドが歪むことがあります。この歪みは、内部ソースが冷えたときに存在しない短絡を Operate（オペレート）中に形成するのに十分であることがあります。そのため、フィードスルーでフィラメントの接地への連続性を測定しても問題が発見されるとは限りません。

フィラメントのコンディショニングについては、WKB62609 も参照してください。

関連する問題については、WKB11064、WKB124360、WKB124362 も参照してください。